国产半导体量检测设备突破：百亿美元市场，国产替代空间大

报告摘要

半导体量/检测设备是制造过程控制关键，全球市场104亿美元，科磊占54%。国产化率仅4%，中科飞测、上海精测等厂商实现0-1突破，推出28nm设备，薄膜厚度、无图形晶圆缺陷检测等产品量产。投资建议买入评级。