建筑行业专题报告:洁净室内部各系统产业链及公司梳理
聚焦建筑行业专题报告:洁净室内部各系统产业链及公司梳理。1)暖通空调系统:建议关注美埃科技、创元科技;2)高纯工艺系统:建议关注正帆科技、新莱应材;3)工艺废气治理系统:建议关注盛剑科技。空气分子污染物影响晶圆制造多个环节工艺,浓度超标可能引发光刻图形缺陷、薄膜不良、器件电性漂移、金属腐蚀等各类良率问题。产业链上游为零部件厂商,新莱应材已通过美国前二半导体设备厂商认证;中游为系统集成厂商,其中正帆科技布局超纯电子特气和系统集成业务,2026H1 新签订单 32.3 亿元,同比+62%。