氧化/扩散/退火设备行业研究：热工艺设备国产替代正当时（广发证券2020）

报告摘要

半导体制造关键热工艺设备氧化/扩散/退火市场约14.3亿美元，全球前三（应用材料、东京电子、Kokusai）市占82%。国产厂商北方华创、屹唐半导体突破28nm制程，受益国产替代，持续关注国内领先厂商。报告详析设备原理、市场格局、国产化进程。

📋 核心要点(部分)

1. 热工艺设备概述
2. 市场规模与格局
3. 国产替代机遇
4. 国内领先厂商分析