氧化/扩散/退火设备行业研究：热工艺设备国产替代正当时（广发证券2020）

半导体制造关键热工艺设备氧化/扩散/退火市场约14.3亿美元，全球前三（应用材料、东京电子、Kokusai）市占82%。国产厂商北方华创、屹唐半导体突破28nm制程，受益国产替代，持续关注国内领先厂商。报告详析设备原理、市场格局、国产化进程。核心数据:14.3亿美元;28nm。

本报告由广发证券发布,发布于 2020 年。

覆盖 2020 年,全文约 14。

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适合半导体投资者、设备采购方、行业研究员等读者参考。

重点分析了管理咨询、热工艺设备、替代正当时、退火设备等议题。